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微流控器件
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高精度硅基掩膜版
二維材料器件

微流控(Microfluidics)指的是使用微管道處理或操縱微小流體的系統所涉及的科學和技術。因為具有微型化、集成化等特征, 微流控裝置通常也被稱為微流控芯片,芯片實驗室和微全分析系統。原位芯片為客戶提供整套包括設計,加工,測試在內的微流控芯片解決方案。

器件應用


微流控芯片因其微型化,規模集成等特征,在有機合成、微反應器和化學分析,臨床診斷儀器和體外仿生模型等領域得到了廣泛應用。

工藝能力


PDMS器件

 加工精度取決于模具的精度,原位芯片提供高精度模具如刻蝕硅,SU-8,刻蝕玻璃。

SU-8器件

 膠厚范圍在2-400um之間,膠厚和線寬比為1:1,精度誤差小于10%。

硅流道器件

 最小線寬在百納米級別,流道陡直度高,線寬精度高,可控精度5%以內,流道最大深寬比可達20:1。

玻璃流道器件

 深度1um內用IBE刻蝕,刻蝕精度10%以內,深寬比1:1,加工效率高。

 深度1-20um,可用NLD刻蝕,刻蝕具有高刻蝕速率、高均勻性、高等離子體密度及低壓放電。

 深度20um以上用濕法腐蝕,加工效率高,深寬比2:1以上。線寬200um以上,精度要求低,可采用激光打孔。

我們的優勢


 加工周期短  效率高  完整的工藝能力